技术编号:13140051
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有设置于基板上的薄膜晶体管(TFT)的显示装置及其制造方法,特别是涉及一种具有不同半导体材料的主动层的复合薄膜晶体管(hybridTFT)结构及其制造方法。背景技术目前,有利用发光二极管(LED)与有机发光二极管(OLED)技术制作的显示器,对于该种显示器来说,其需要高分辨率、更小尺寸、以及更稳定的具有较低功率与较低mura缺陷的晶体管。由于具有较非晶硅高的载流子迁移率、低制作工艺处理温度、以及光学透明度,金属氧化物半导体已用于该种装置的制造。然而,由金属氧化物半导体所制作的薄膜...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。