技术编号：13140305
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体领域，具体涉及一种霍尔元件及其制备方法。背景技术霍尔元件是一种基于霍尔效应的磁传感器，一般用于电机中测定转子转速，如录像机的磁鼓，电脑中的散热风扇等。用它们可以检测磁场及其变化，可在各种与磁场有关的场合中使用。霍尔元件已发展成一个品种多样的磁传感器产品族，并已得到广泛的应用。在目前霍尔元件的应用场合中，对霍尔元件的温度特性提出了越来越高的要求。目前商用霍尔元件中，温度漂移特性最好的当属砷化镓霍尔元件。但是，在电流传感器等要求较高的领域，在使用砷化镓霍尔元件时仍需配备温度补偿电路，...
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