技术编号:13155079
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及特殊气体生产技术领域,尤其涉及一种生产工艺简单、操作性能安全可靠、系统运行稳定、可实现连续性生产和连锁自控的高纯六氟化钨的生产方法和生产装置。背景技术随着新兴技术的发展,特殊气体需求品类繁多,国内从业企业技术水平参差不齐,市场供求,从量上看供大于求,产能过剩;但是就质而言,能达到特殊气体技术要求的只占产能的36%;因此,符合特殊气体技术要求的特殊气体供给短缺,基本依赖进口。可见,特殊气体生产从业者,只有技术进步,才能满足特殊气体使用质量要求。六氟化钨(WF6),无色气体或浅黄色液体,固...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。