半导体结构以及制备半导体结构的方法与流程技术资料下载

技术编号:13160999

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技术领域本发明涉及半导体技术以及半导体制造领域,具体而言,本发明涉及半导体结构以及制备半导体结构的方法。背景技术在半导体技术领域,太阳能电池或者发光二极管(LED)的衬底多为玻璃或者金属。采用玻璃作为衬底,可利用玻璃的透光性,且成本低廉因此具有良好的应用前景;采用金属作为衬底,则可以利用金属导电性能良好的特点提高器件性能,或是利用柔性金属薄膜衬底制备柔性半导体器件。然而,对于性能较好的太阳能电池或者LED来说,其中的半导体材料一般要求为单晶或者晶体取向一致性好的多晶,即其中的晶体具有择优取向。目...
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