技术编号:13164603
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池片加工技术领域,尤其是涉及一种扩散炉用石英炉管。背景技术现有常压扩散炉进气方式为炉尾进气,通过尾气管从炉口出气,在炉内形成气体流场,通过磷源掺杂在高温环境下对硅片表面进行扩散。随着太阳能电池工艺的优化,现有常压扩散炉很难满足高性能电池片对技术的发展需求。尤其是当硅片表面方块电阻增大至110Ω/□以上时,常压扩散炉的均匀性会变得较差。现有进气方式气体流场不均匀,掺杂原子在反应室内分布不均匀,炉尾气体浓度偏高,炉口气体浓度偏低,容易造成炉口扩散方阻偏高,炉尾扩散方阻偏低,需要...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。