技术编号:13170273
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。形成双重固化纳米结构转印膜的方法背景技术玻璃基板上的纳米结构和微观结构用于例如显示、照明、建筑和光伏装置中的多种应用。在显示装置中,结构可用于光提取或光分布。在照明装置中,结构可用于光提取、光分布和装饰效果。在光伏装置中,结构可用于太阳能聚集和抗反射。在大的玻璃基板上图案化或换句话讲形成纳米结构和微观结构可能困难且成本效益不高。已经公开了在纳米结构化牺牲模板层中使用结构化回填层作为光刻蚀刻掩模的叠层转印方法。回填层可为玻璃样材料。然而,这些方法需要将牺牲模板层从回填层去除,同时基本上完整地保留回...
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