金属圆片级表面声滤波芯片封装结构及其制造方法与流程技术资料下载

技术编号:13177742

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技术领域本发明涉及一种金属圆片级表面声滤波芯片封装结构及其制造方法,属于半导体封装技术领域。背景技术表面声滤波设备广泛用于RF和IF应用,其中包括便携式电话机、无线电话机、以及各种无线电装置。通过使用表面声滤波,对这些电子设备进行电信号的滤波、延时等处理。因表面声滤器产品性能和设计功能需求,需要保证滤波芯片功能区域不能接触任何物质,即空腔结构设计。现有的表面声滤波器件封装结构是将滤波芯片通过导电凸块倒装焊与陶瓷基板相连并完全嵌于基材腔体内,基板表面加金属盖保护。但是此种结构金属盖的成本较高,而且...
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