一种能够进行空气循环的纳米压印设备的制作方法技术资料下载

技术编号:13205951

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本发明涉及一种纳米压印设备,特别是一种能够进行空气循环的纳米压印设备。背景技术现有的纳米压印设备一般采用非循环式空气流通,防止纳米压印过程中的杂质进行循环,并且现有的纳米压印设备在空气进口和出口处均设置空气阀以能够对空气的流速进行管控,但是此量种设计需要的成本均较高。发明内容发明目的:本发明在于解决现有的纳米压印设备采用非循环式空气流通或空气阀进行空气管控成本较高的问题。技术方案:本发明提供以下技术方案:一种能够进行空气循环的纳米压印设备,包括支撑座和升降台,支撑座和升降台的外部设有壳体,升降台...
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