技术编号:13216002
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种微机电技术领域的射频器件,具体地说,是涉及一种集成在硅衬底上的紧凑型MEMS电容式射频开关及制备方法。背景技术开关是通信和雷达技术上的重要元件,基本类型主要有接触型、电容型等,其中电容开关的通断比和隔离度高。外界信号通过电容开关,实现射频电路的接通和断开。为了进一步提高电容开关的性能,在微机械加工技术发展的基础上,人们采用MEMS开关替代传统形式的开关,设计出了很多新型的电容开关,其中大多数设计都是采用微带线作为传输路径的,也有普通共面波导传输线做传输路径的。基于特定的应用...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。