技术编号：13217115
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及光刻技术，尤其涉及用于光刻机的工件六自由度位置和姿态测量传感器装置。背景技术随着液晶显示行业的不断发展，液晶尺寸不断增大，对扫描光刻机的分辨率的要求也不断提高。对准传感器和调焦调平传感器作为光刻机中重要的水平向和垂向位置和姿态测量传感器装置，对要求更多的测量点，更高的精度，更高的重复性，并且能够适应大玻璃基板的变形和工艺技术的复杂性。与此同时，多物镜阵列的结构，还要求对准和调焦调平传感器具备更小的空间尺寸。在专利CN100524024中，日本nikon公司提出了一种用于高世代T...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。