技术编号:13220408
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于流体检测技术领域,涉及一种低功耗浸入型热式气体流量测量方法及装置。背景技术热式气体流量测量是一种新型的气体流量测量方法,根据气体热传导原理,流经热式传感器表面的气体会带走传感器的部分热量,通过气体流量与热式传感器之间热交换的关系即可测得气体流量。热式气体流量计测量精度高,量程宽,灵敏性好,同时因为无可动部件,对气体流场的影响小,压力损失低,使用寿命长,因此逐渐被应用于石油化工,半导体加工,航空航天等领域。目前,热式气体流量计按结构分可分为分布型结构和浸入型结构两种。分布型热式流...
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