一种微位移多级放大机构的制作方法技术资料下载

技术编号:13238650

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本发明涉及一种放大装置,具体涉及一种应用杠杆原理进行微位移放大的多级放大机构。背景技术随着科学技术的发展,航天技术、微电子工程、光电子工程、测量技术、精密加工技术、医学生物工程以及目前蓬勃发展的微机电系统(MEMS)等技术领域都迫切需要高放大倍数、小体积、抗高过载的微位移放大机构,用以直接进行工作或配合其它设备完成微位移的放大。在实际应用中一般需要较大的输出位移,通常需要上百微米的位移,但是,传统的微位移放大机构,位移改变量小,一般最大为微米数量级,所以只能应用在位移有限的情况,不能用作大行程高...
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