技术编号：13245841
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于真空镀膜技术领域，特别涉及一种真空压力控制和测量装置。背景技术等离子镀膜作为提升材料表面性能有效方法被广泛应用于消费电子、医疗器械、生活用品等领域。在等离子镀膜时，需要控制真空泵组对反应腔室抽真空，压力值采用真空计进行实时测量。常用的真空泵组由前级泵和增压泵组成，增压泵一般不能在大气压下启动，需要前级泵将反应腔室抽到规定的启动压力后才能启动，启动压力通常大于30Torr。真空计为保证测量精度通常有量程限制，大量程真空计可从常压到真空进行全量程测量，但在高真空阶段精度较低。小量程真空...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。