技术编号:13265174
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶片研磨领域,具体涉及一种用于圆柱形晶片研磨的调径式游星轮。背景技术在光学晶片的生产过程中,研磨工艺是十分重要的一个环节。其中,双面研磨机主要用于对两面平行的晶体零件进行双面研磨,其中采用游星轮对晶体进行夹持。传统的游星轮开孔位置固定,使得同一片游星轮只能针对同一种形状的晶体进行夹持,导致了游星轮的利用率低,增加了的生产成本。例如,授权公告号为CN202804917U公开的一种研磨石英晶片用游星轮,其就只能对一种固定尺寸的晶片进行加工,若需要加工其他尺寸的晶片,则必须更换游星轮,不利于...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。