技术编号:13269195
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于材料制备技术领域,具体涉及一种等离子体活化氮源结合丝爆合成氮化铝纳米粉体的制备方法及系统。背景技术氮化铝(AlN)陶瓷在陶瓷材料中,具有热导率高、热膨胀系数小、介电常数低、强度高、化学性质稳定的优点,是公认的高密度、大功率和高速集成电路基板和封装的理想材料,在国防航空、通讯、电子元器件等领域前景光明。而AlN陶瓷材料的制备工艺和实用性能均受到粉体特性的直接影响,要获得高性能的AlN陶瓷,必须有纯度高、烧结活性好的粉体作为原料。AlN陶瓷对金属杂质和氧杂质非常敏感,含有超过0.02%的S...
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