技术编号:13285196
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种β-Ga2O3基日盲紫外光电探测器阵列及其制备方法技术领域本发明涉及光电子技术领域,具体是一种β-Ga2O3基日盲紫外光电探测器阵列及其制备方法。背景技术由于臭氧层的吸收,在地球表面几乎不存在波长介于200-280nm之间的深紫外光,该波段的光称为日盲紫外光,而针对该波段的信号探测被称为日盲紫外探测。由于不受太阳光背景的影响,日盲紫外光信号探测灵敏度极高,工作在此波段的通信准确率也极高。日盲紫外光电探测器可广泛用于科研、军事、太空、环保等领域,如太空飞船中的紫外光监视器,臭氧层太阳光紫外线监...
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