技术编号:1330925
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种硅片清洗机,特别涉及一种多槽循环硅片清洗机。背景技术在硅片的生产工艺中,为了获得良好品质的硅片,要求附着在硅片表面的杂质量极少,因此,切割后的硅片需要进行清洗。目前,采用的清洗设备是7槽清洗机,7槽清洗机包括机壳、设置在机壳内的清洗槽、超声装置、提供纯水的给水管路及排出清洗液的排水管路,清洗槽一般为7个且其功能均固定不变。7槽清洗机在运作时,移载机械手会把装有硅片的清洗篮依次放入7个清洗槽内进行处理,硅片顺次通过漂洗、碱洗(用药水进行清洗...
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