技术编号:1334483
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。防断电保护的硅片清洗机[0001]本实用新型涉及半导体清洗,特别涉及一种防断电保护的硅片清洗机。技术背景[0002]在半导体行业,需要对硅片后道工艺铜互连阶段后,多孔性介质材料进行超精细 清洗,Chuck (卡盘)夹持的硅片高速旋转进行清洗时在工艺腔室内完成,清洗包括药液漂 洗、超纯水冲洗和N2甩干等工艺。在清洗的过程为了实现对化学药液的回收利用,工艺腔 室采用分层设计,Up/down单元带动Chuck至各工艺位置,由伺服电机带动Chuck做高速旋 转运动...
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