技术编号:13349778
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及通过使探针沿着样品表面相对移动而用于测量样品的表面形状的扫描型探针显微镜。背景技术在扫描型探针显微镜中,相对于载置在位移台上的样品的表面,通过使探针在XY平面内相对移动并进行扫描,在其扫描中检测作用于探针与样品表面之间的物理量(隧道电流或者原子力等)的变化。而且为了使扫描中的上述物理量保持恒定而反馈控制探针在Z方向的相对位置,由此能够基于该反馈量测量样品的表面形状(例如,参照下述专利文献1)。图8是用于说明使探针在样品的表面上相对移动时的、以往的方案的概略图。图9A以及图9B是示出使图...
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