技术编号:13351357
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在机器人臂安装着衬底保持装置的衬底搬送机器人及具备这衬底搬送机器人的衬底处理系统。背景技术一直以来,以机器人搬送半导体制造用晶片等衬底的技术已广为人知。此处,在制造半导体时,实施晶片的洗净处理、成膜处理、加热处理、蚀刻处理等各种处理步骤。由于各处理步骤以各个不同的处理装置实施,故必须在多个处理装置之间搬送晶片。因所述晶片搬送中使用机器人,并且在半导体制造工艺中对周围环境氛围要求高洁净度,故使用机器人所带来的无人化的好处大。此外,为了提高半导体制造的处理量,要求缩短晶片搬送时的作业时...
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