技术编号:13356024
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及蚀刻技术领域,尤其涉及一种阳极板及蚀刻装置。背景技术现有的蚀刻技术中,需要对上电极板进行阳极处理,因此上电极板也称为阳极板。而蚀刻工艺中,需要使用氟、氯等活性腐蚀性气体,这些腐蚀气体在经过阳极板的通气孔时,腐蚀阳极板的通气孔,严重时会导致阳极板失效。因此严重影响了阳极板和包括该阳极板的蚀刻装置的使用寿命。因此,有必要提供一种阳极板解决该腐蚀性问题。实用新型内容本实用新型的实施例提供了一种阳极板及蚀刻装置,旨在解决腐蚀性气体腐蚀阳极板的通气孔而影响阳极板的寿命问题。第一方面,本实用新...
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