技术编号:13383459
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体制造技术领域,特别是涉及一种用于柔性电子器件的低阻值透明导电网络膜及其制备方法。背景技术透明导电薄膜是一种既能导电又在可见光范围内具有高透明率的一种薄膜。现有常用的透明导电膜有:透明导电氧化物,如ITO;银纳米线;碳纳米管;石墨烯等。但是这些材料在透光性与导电性上都存在相互制约的情况。在大尺寸透明电极的应用中,由于压降问题,需要制作低阻值且具有良好透明性的导电薄膜。通常的解决方法是引入金属网格(metalmesh)。利用金属网格提供低阻值的导电网络。金属网格导电性与金属层线宽以及...
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