技术编号:1338426
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及湿法制芯片生产领域,尤其是涉及一种浸洗槽。背景技术在湿法制芯片的生产过程中,经过各种工艺环节之后,芯片表面会残留各种化学液体及杂质,因此需要对其进行清洗,才能将化学液体及杂质清理干净。在清洗过程中,由于需要保证浸洗槽内液体的高度能够足够覆盖芯片,且加液体时不会溢出,因此一般在浸洗槽上均设置有液位检测装置。传统的液位检测装置为直接设置在浸洗槽体上,在清洗时,芯片有可能会卡在检测装置上,既对检测装置造成影响,还对芯片的质量造成了一定的影响。实用新...
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