技术编号：13426401
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。通过旋转、平移及可变处理条件的曝光剂量均匀化相关申请的交叉引用本公开内容要求于2015年3月31日提交的题为“HighPowerUVFloodExposureDoseHomogenizationbyCombinationofRotation,TranslationandVariableProcessingConditions”的美国临时申请第62/141,003号和2015年7月16日提交的题为“Exposuredosehomogenizationthroughrotation,translat...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。