技术编号：13430040
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明主要涉及微机械压阻式压力传感器，尤其涉及一种低压应用的微机械超小型压阻式压力传感器及其制造方法，该传感器是采用晶圆键合技术在蚀刻腔上面形成硅膜片以及深硅蚀刻的方法来确定所要制造的传感器的轮廓。背景技术众所周知，在医疗过程中，对受试者血管诊断或治疗时，监控体内定点的生理参数可以针对受试者的状况为医疗专业人员提供关键信息。冠状动脉血管内的血压就是一个特别重要且有益的生理参数。研究表明，冠状动脉血管内的定点血压可以用于计算血流储备分数（FFR），血流储备分数（FFR）代表了冠状动脉血流在往冠脉狭...
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