技术编号：13437012
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机电系统技术领域，具体涉及一种降低微机械梁薄膜应力的方法及相关薄膜。背景技术微电子机械系统(Miro-Electro-MechanicalSystems，MEMS)是由电子和机械元件组成的集成化微器件或系统。MEMS器件具有“件具有特点，即小型化、微电子集成及高精度批量制造。传统的MEMS器件通常分为传感器和执行器，传感器可以感知物理化学等激励，而执行器可以产生机械运动。作为MEMS器件中一个重要部分，可作机械运动的微机械梁体现了MEMS器件的机械本质，微机械梁通常采用薄膜结构，而薄...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。