技术编号:13442434
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是关于一种冷却装置,尤指一种载具冷却装置及具有载具冷却装置的移动滚轮台。背景技术现有的真空镀膜是一种通过物理方法产生薄膜材料的技术,最先使用于生产光学镜片,后延伸至其他功能的薄膜,如机械刀具镀膜以改变加工硬度等,现有的真空镀膜程序在工件经过表面处理或镀膜后,需经过一冷却装置,将载具或治具进行冷却,使其在制程中产生吸热的作用,以降低制程中对工件产生的热量,确保工件在可容许的温度下进行。现有的载具冷却装置如中国台湾专利号TWI531671号发明“具有载盘冷却功能的镀膜系统”,前述的载盘冷却...
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