一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置的制作方法技术资料下载

技术编号:13442442

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本实用新型涉及金刚石膜生长领域,尤其涉及一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置。背景技术金刚石是自然界中最硬的物质,摩擦系数低,导热性高及优异的化学稳定性等特殊性能使其成为切削工具理想的材料。但是,单独使用金刚石很脆,无法进行高强度的加工,且单晶金刚石刀具因成本高和抗冲击性差的软肋导致其应用领域受到限制。而与之性能相似,但价格低廉的金刚石薄膜却有着更大的发展空间。目前,热丝CVD法是最为普遍也是最为成熟的制备金刚石涂层刀具方法,由于热丝法设备造价便宜、可控性高,是目前工业应用中的主要方...
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