技术编号:13442442
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及金刚石膜生长领域,尤其涉及一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置。背景技术金刚石是自然界中最硬的物质,摩擦系数低,导热性高及优异的化学稳定性等特殊性能使其成为切削工具理想的材料。但是,单独使用金刚石很脆,无法进行高强度的加工,且单晶金刚石刀具因成本高和抗冲击性差的软肋导致其应用领域受到限制。而与之性能相似,但价格低廉的金刚石薄膜却有着更大的发展空间。目前,热丝CVD法是最为普遍也是最为成熟的制备金刚石涂层刀具方法,由于热丝法设备造价便宜、可控性高,是目前工业应用中的主要方...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。