技术编号：13444774
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及偏移检测转置，尤其涉及一种扫描探针检测装置。背景技术扫描探针显微技术凭借其超高分辨率、实时成像、对样品无损伤，对样品无特殊要求（不受其导电性、干燥度、形状、硬度、纯度等限制）、可在大气、常温环境甚至是溶液中成像、等优势，已经被广泛应用于表面探测以及纳米加工等领域。扫描探针显微镜通过感知探针与样品之间的原子力的变化获得样品的表面形貌，精确探测微悬臂的偏移是扫描探针显微镜对样品真实成像的需求。目前，国内外研究人员已提出并发展了多种检测微悬臂形变的方法，这些检测方法在灵敏度、稳定性、适用微悬...
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