尤其用于减小节距的应用的、具有竖直探针的测试头的制作方法技术资料下载

技术编号:13451291

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本发明涉及一种包括多个竖直探针的测试头,尤其用于减小节距的应用。更具体地,本发明涉及用于测试被测器件的工作的具有竖直探针的测试头,该测试头包括多个接触探针,每个接触探针具有在第一端和第二端之间延伸并且容纳在各自的引导孔中的预设长度的杆状主体,该引导孔形成在至少一个下引导件和一个上引导件中,该引导件是板状的、彼此平行并且被弯曲区域间隔开。具体而非排他地,本发明涉及用于测试集成在晶片上的电子器件的测试头,仅处于简化其阐述的目的、参考其应用领域进行以下描述。背景技术众所周知,测试头(探针头)是一种适于...
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