技术编号：13451339
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于增强检验工具的检验灵敏度的系统及方法相关申请案的交叉参考本申请案主张2015年3月16日申请的现处于待决中的第62/133,959号美国临时申请案的优先权，所述申请案的揭示内容以引用的方式并入本文中。技术领域本发明涉及用于增强检验工具(例如计量工具)的检验灵敏度的系统及方法。背景技术晶片检验系统帮助半导体制造者提高及维持集成电路(IC)芯片合格率。IC产业采用检验系统以检测在制造过程期间出现的缺陷。其主要目的是监测过程是否处于控制之下。如果过程是在所建立规范的范围外，那么系统应指示问题及/或...
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