技术编号：13474552
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体以及机械加工设备技术领域，尤其涉及一种可适用于多尺寸样片的样片托盘。背景技术在机械加工以及半导体制备行业中，部分工艺如等离子体沉积、等离子体刻蚀、溅射、材料蒸发、机械打孔、研磨等都需要将待作业的样片放置于样片托盘上，利用样片托盘来进行后续作业。现有技术中，如图1、2所示，这种样片托盘包括托盘本体1，在托盘本体1的表面开设一种规格尺寸的样片放置槽，如第一样片放置槽2或第二样片放置槽3。作业时样品放置于样片放置槽内，利用样片放置槽对样片起一定的固定作用。然而，一种规格尺寸的样片放置槽...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。