技术编号：1348339
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光滑表面清洗方法，应用于石英玻璃、K9玻璃等超光滑表面附着微粒的清洗。背景技术随着超精密加工技术的发展，超光滑表面的应用日益广泛，对超光滑表面的要求也越来越高。超光滑表面清洗在半导体、微电子器件和光学零件的制造过程中是一项很重要的工序。研究表明，高质量超光滑基片表面沾污微细杂质可引起器件性能下降。比如在光学基片表面上残留亚微米级杂质时，将使得基片表面产生严重的散射，当此光学基片应用于高功率激光器时，这些杂质不仅会增加光学零件对激光的吸收，造成...
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