技术编号：13506348
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及机械技术领域，具体为一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置。背景技术随着全球电子信息产业快速发展，平板显示行业的迅猛发展，平面显示面板尺寸要求不断扩大，这就要求溅射靶材尺寸也随之扩大，目前最大尺寸已达到3米X2米，这类靶材需要固定在背板上，通常是用流动性好且具有一定粘性的低合金金属做为焊料。且磁控溅射过程中，由于高速粒子不断轰击，动能转换成热能，靶材因此会积累大量热量，为了避免靶材过热而造成脱靶现象，靶材整体温度必须保持在一定范围内，为此、国内外一些靶材厂家陆续开发出带水路背板。靶材...
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