技术编号：13512290
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种气体供给系统、基板处理系统及气体供给方法。背景技术在专利文献1中公开有压力式流量控制装置。压力式流量控制装置具备：将气体的流量控制为规定量的控制阀；设置于控制阀的下游的节流孔；配置于控制阀与节流孔之间的温度传感器及压力传感器；以及根据传感器检测值及目标值控制控制阀的开闭量的控制电路。在压力式流量控制装置中，通过控制电路运算根据传感器检测值进行了温度校正的流量。并且，通过控制电路对所运算的流量与目标值进行比较，从而以差值变小的方式控制控制阀。专利文献1：国际公开第2015/06403...
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