技术编号:13539527
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体管道加热领域,尤其涉及一种用于半导体管道加热器的温度控制器。背景技术目前,半导体管道加热已广泛应用于许多半导体生产工艺中。由于许多半导体生产工艺中有大量的可凝生成物生成,对半导体管道的加热可以避免此类生成物在管道内壁上的沉积,从而避免管道的堵塞,以保证半导体生产设备的正常运行。在对半导体管道加热时,对于加热温度的控制至关重要,然而,传统用于半导体管道加热器的温度控制器还普遍存在如下不足:一、大部分不可以设定温度,即使可以人为设定温度,设定操作也比较繁琐,人机交互效果差;二、温...
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