技术编号:1357729
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总的涉及处理半导体晶片的装置。更具体地说,本发明涉及晶 片承载器门。背景技术半导体晶片加工时,要经过多道步骤。这一过程通常需要专用设备将 这些晶片从一个工作台传送到另 一个工作台进行加工。加工过程中,晶片可能临时存放在容器内,或装在容器内运输到其他 工厂或终端用户。在这些阶段中,晶片可能会受到污染而被损坏。为降低污染物对晶片的有害影响,开发出了专用容器,使产生的污染 物达到最小量,并将晶片与容器外污染物隔离开。这些设备所共有的主要 特征是它们都安有可...
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