技术编号:1358739
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在制造半导体产品等的清洁室中所使用的清洁室用抹布,具体涉及一种在擦拭部边缘的缝合部形成有由文字、数字及其他符号等构成的识别突起的清洁室用抹布。背景技术 一般,需要保持清洁和无菌状态的清洁室广泛应用于电子产业、及食品、医药产业等的多个领域,尤其是在进行半导体及TFT LCD等制造工序的清洁室中,用于清洁晶片(wafer)、设备及仪器等的清洁室用抹布,通常采用对灰尘或水分的吸附能力强且在使用过程中能够抑制灰尘等的纤维材料来制成。上述清洁室用抹布主...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。