技术编号:1358983
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将半导体晶片、液晶显示装置(LCD)用玻璃基板、等离子显示器(PDP)用玻璃基板、印制电路板、电子器件基板等的基板向着水平方向运送的同时、向基板的主面供给包含有冰微粒的处理液而进行基板的清洗等处理的基板处理方法,以及实施该方法所使用的基板处理装置。背景技术 例如LCD、PDP等平板显示器(FPD)的制造装置中的基板的清洗是通过基于受激准分子激光器的紫外线(UV)照射除去有机物污染→基于使用辊刷的洗涤清洗除去1μm以上的污染物质→基于置换清洗除去药...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。