技术编号:13596362
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及采用化学气相沉积法生产薄膜的方法和设备,尤其是一种利用化学气相沉积法制备碳薄膜的方法和设备,特别的本发明涉及一种在反应腔室中处理和加热基材的基材支撑机构,该机构具有宽度倍增的表面用于形成大面积薄膜。
背景技术
本发明用于石墨烯的合成,石墨烯是一种单碳原子二维单片层结构的物质,其中碳原子具有稳定的外延排列,包括具有碳原子以sp2杂化轨道形成的多环芳香烃,是碳原子及其共价键连接形成的蜂巢晶格,可以是形成6元环作为基本重复的单元,5元环及7元环也可以形成。石墨烯...
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