技术编号：13602054
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是有关一种流体喷嘴，属表面处理技术领域，具有较佳的表面处理功效。
背景技术
有关面板或金属蚀刻后段的表面清洁处理，以金属蚀刻为例，蚀刻是指借由化学药剂的侵蚀作用，将金属表面除去全部或部份的作业。目前蚀刻工业广泛运用于电子工业，诸如半导体装置晶圆，电路板等的制造…等。以中国台湾蚀刻专利为例，公告第M386597号用于软性基板蚀刻制程的载台(2010年08月11日专利公告数据参照)，该载台应用于软性基板卷对卷式线路蚀刻制程中，除蚀刻液喷洒处下方支撑软性基板外，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。