技术编号:13610697
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及材料测试仪器领域,具体涉及一种扫描隧道显微镜用扫描探针装置。
背景技术
扫描隧道显微镜(scanning tunneling microscope)是利用量子力学中的隧道效应,通过测量探针与被测样品之间的隧道电流的变化来分辨固体表面的形貌。一般来说扫描隧道显微镜主要由三个部分组成:显微镜主体、控制电路和计算机控制系统(测量软件及数据处理软件),在这其中最重要的就是主体,它包括了针尖平面扫描机构,针尖与样品距离控制调节机构,系统与外界震动隔离装置。注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。