技术编号：1362675
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及除去聚合物涂层的方法，以及具体涉及用常压等离子体放电将聚合物涂层从涂覆基材上除去。 背景技术 术语“等离子体”一般描述为包含离子、电子和中性物种的部分电离气体。等离子体可以通过能量输入如经由化学方法的能量输入、非常高的温度、强的恒定电场以及特别是射频(RF)电磁场的作用来产生。等离子体已经广泛用于众多的工业和高技术应用中，例如包括半导体制造、各种表面改性、以及窗口面板和光盘用反射膜的涂覆。从高真空(＜0.1毫乇)至若干乇的压力范围内的等离子...
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