技术编号：13651033
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机械电子技术领域，具体是一种MEMS压力传感器的制备方法。
背景技术
MEMS 硅压力传感器是目前工业生产中最为重要的一类传感器，广泛应用于汽车工业、航天工业、军事、医疗卫生等领域。压阻式压力传感器是目前最为广泛的一类压力传感器，利用硅的良好的机械性能和电学性能，通过扩散或者离子注入的方法将力敏电阻注入到敏感薄膜中实现了感压元件和转换电路的集成。衡量压力传感器最重要的两个参数是灵敏度和线性度。对于传统C型硅杯结构，提高压力传感器灵敏度必须减薄敏感薄膜，使...
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