技术编号：13656119
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空领域，特别涉及一种大型真空互联系统中的前级真空系统以及抽真空控制方法。
背景技术
每一个独立的真空系统都需要配备对应的前级真空装置。而大型真空互联系统是由十几乃至几十个相对独立的真空系统通过阀门连接起来。如果采用传统做法，那么将需要十几乃至几十个前级真空无油干泵，这样的做法有如下缺点：
(1)数量众多的干泵使得初期投入成本巨大，后期能耗高；
(2)无油干泵的工作原理是利用密封圈相对运动压缩排气，使得其维护周期基本上是半年小维护，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。