技术编号:13659698
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅生产技术领域,具体涉及一种四氯化硅废液回收处理装置。
背景技术
目前,多晶硅的国际市场价格持续走低,各多晶硅生产厂商为增强竞争力一般采取降低生产成本和提高产品质量这两种途径。
随着多晶硅生产成本的逐步降低,采用改良西门子法生产多晶硅的主要副产物四氯化硅,其安全环保及回收利用的问题引起了大家的广泛关注。其中,四氯化硅为高毒性物质,极易潮解,与水反应生成硅酸和氯化氢,若直接排放会对人和环境产生极大危害,需要对其进行回收处理。
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