技术编号:1366389
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及清洁减压处理室内的部件的技术,例如,涉及清洁放置被处理基板的工作台等的技术。背景技术 在半导体或者例如液晶显示装置等的FPD(平板显示器Flat PanelDisplay)的制造工序中,防止从制造装置外混入的、或在制造装置内产生的微颗粒对被处理基板的污染是一个问题。特别是,当安装在减压处理室中的工作台被微颗粒污染时,微颗粒附着在放在其上的基板的背面,在下一个工序中,污染扩大,结果,产生最终的制品不合格。图1表示一般的等离子体蚀刻装置的概略图。在作...
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