技术编号:1366936
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体、液晶显示器件、电子器件等的精密清洗所使用的超声波振荡电源。背景技术 在半导体制造工序中,作为微小尘埃的微粒是引起合格率降低的重要原因之一。因此,在半导体、液晶显示器件、电子器件等的制造工序中,在各种微细加工的前后,要清洗掉附着在半导体、液晶显示器件及电子器件等表面的亚微米级微粒。一般情况下,这种清洗同时使用用药液作为清洗液的化学清洗方法,以及对该清洗液施加超声波的超声波清洗等物理清洗方法。化学清洗对微粒的去除有效,而物理清洗对去除牢固附着...
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