技术编号:13670118
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于自动化设备领域,具体涉及一种自动化生产用硅片承载花篮。
背景技术
要实现硅片生产车间自动化,那自动化设备当中的机械手与承载硅片的周转花篮配合尺寸一定要统一,新花篮通常刚开始使用没有问题;但是使用时间久了以后会产生变形,导致机械手与花篮有干涉不顺畅的情况出现,这也是目前所要解决的核心问题。
另外,花篮在使用过程当中要定期维护;怎样能降低维护成本减少损坏率这也是各个厂家致力于解决的重心;现对CN204144294U和CN204885114U这两...
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