技术编号:13670331
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及预制棒加工设备技术领域,特别是涉及一种波导同轴转换器。此外,本实用新型还涉及一种包括上述波导同轴转换器的微波等离子体系统。
背景技术
PCVD即等离子化学气相沉积法是光纤预制棒加工的主要工艺之一,微波等离子体系统是该工艺特有不同于其它工艺的部分,是核心部分。微波等离子体系统由水平安装在运动载台上的微波头、隔离器、三销钉调配器、波导部件和垂直安装的同轴部件、等离子体谐振腔组成。波导部件和垂直安装的同轴部件通过波导同轴转换器连接在一起。波导同轴转换器不仅把...
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